真空爐的真空系統的三個基本要求;

1)能迅速地將真空熱處理爐的真空度抽到規定的要求。

2)能及時排出被處理工件和爐內構件所釋放出的各種氣體，以及因

真空泄漏而滲入爐體內的氣體。

3)真空機組占地面積小，運行安全可靠，操作簡便。

真空系統的組成

真空爐的真空系統通常由真空獲得設備(真空泵機組)、控

制真空組件和測量真空組件所組成。

1)真空泵機組。根據爐子工作壓力和抽氣量的大小，分別選配不同

的低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵。

2)真空組件或元件。在真空爐體和真空泵機組之間配備的各種真空

組件或直字元件，如管路、密封圈、法蘭、波紋管、冷阱、過濾器和

閥門等。

3)真空測量系統，如真空規管、真空壓力表和其他真空測量儀表。

4)真空檢漏儀器、真空控制儀器、充氣裝置等。